统都有,内部空间干净整洁,不用说一根头发,一个灰尘都没有。
“我们从起始线参观,大家看到的这第一台机器就是单晶炉,它负责把多晶硅冶炼成为单晶硅,拉出来硅棒,然后切片,这套设备是我们国内四十八所研发的。”
虽然芯片是由沙子制造的,但是先进的芯片厂一般都不会从沙子开始冶炼,沙子到粗硅有专门的企业负责,芯片厂只要将多晶硅融化拉单晶,制造出来硅棒就可以了。
这种单晶炉也是很有特色的,下面是个粗圆柱体结构,上面是个细圆柱体,拉出来的单晶硅就从上面抽出来,上面这个圆柱体的内径,就是晶圆的直径,看这种机器的样子,应该是最常见的6英寸硅棒。
一共四台炉子,一字排开,就像是四个大锅炉,看上去很是壮观。
“四十八所是咱们国内主要的半导体设备供应单位,他们以前就在造单晶炉,只是没有这么大的。”贲老看向单晶炉,目光中满是感慨:“等咱们所要更新设备的时候,也从他们那边弄一台!”
“这边是切片机和抛光机,这些机器设备,都是咱们国内四十五所研制的。”倪老继续介绍:“他们原本只有切割三英寸硅棒的设备,接到咱们的订单之后,投入了全部技术骨干力量搞研发,终于按时给咱们研制了出来。加上研发费用,也比从国外采购便宜。”
硅棒拉出来,就是切片变成晶圆,然后打磨,为在上面刻蚀电路做准备。
接下来是低压化学气相淀积、等离子体增强化学气相淀积装置,经过这些装置之后,晶圆表面就覆盖上薄膜材料,等待下一步的刻蚀,这些设备则是首都仪器厂和首都几所大学共同研发出来的。
晶圆经过了这些步骤,完成了准备,就可以上光刻机了。
其他的设备虽然也是高科技,但是要论科技含量,比不上光刻机,这东西是芯片制造的关键。
两台大型光刻机摆在车间的中央,徐教授带着几名技术人员,正在上面忙碌着,秦锋等人过来的时候,依旧没有停下手里的工作。
“徐教授,有人来参观,你给大家伙讲讲?”倪老开口。
“想看自己看,我没空!”徐教授头都不抬。
“好啊,有性格,比咱老林的脾气还大。”林老在一旁感慨:“不过合咱老林的胃口,如果有领导来参观,就屁颠屁颠地出来迎接,那种肯定是没本事的人。”
听到林老这样说,徐教授这才抬起头来,看了林老一眼:“你能说出这种话来
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